真空计：压阻真空计概述

压阻真空计的传感器是压阻绝对压力传感器。它使用集成电路的扩散工艺在硅薄膜上制造四个等效电阻，并将它们连接为平衡桥。通过机械加工和化学蚀刻方法将硅膜片制成硅环，然后使用金-硅共晶工艺或其他特殊工艺将硅环和衬里烧结在一起。硅环膜片的内部是标准压力（约1倍，10 ^ -3Pa），外部是要测量的压力。结构如图11-17所示。当硅膜片外部的压力发生变化时，由于硅的压阻效应，电桥四臂的电阻发生变化，电桥失去平衡，并获得与待测压力相对应的电压信号。该信号通过放大器，控制单元，显示单元等，并显示相应的压力值。该量规的测量范围为10 ^ 5Pa〜10Pa。北京真空仪器厂生产的采用压阻式绝对压力传感器的HLP-03低真空表的原理框图如图11-18所示。仪器的测量范围为1.1倍，10 ^ 5Pa〜10Pa，满量程精度为0.5％。仪器的特点是线性测量精度高，无论所测量气体的类型如何，量程都会自动转换。